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磷烷氫氣混合氣

磷烷氫氣混合氣簡介

磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。無色,劇毒,易燃燒氣體,帶有令人生厭的大蒜味。

產品規格

氣體 純度 雜質含量(ppm) 鋼瓶 閥門 備注
1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3:?6N?H2O≤0.1,CO2≤0.1,N2≤0.1,O2+Ar≤0.2,AsH3≤0.1,,THC≤0.1 48.8L DISS632 100KGf/cm2
H2:?O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632

產品用途

在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。

PH3:易燃、易爆、劇毒;其毒性數為:PEL/TLV 0.3×10, STEL 1×10,LC5020×1O,ZDLH200×10,屬劇毒危害品。

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